本規范共分14章和2個附錄,主要內容包括總則,術語,基本規定,工藝,廠址選擇及總體規劃,建筑,結構,氣體動力,供暖、通風、空氣調節與凈化,給水排水,電氣,防靜電,化學品,空間管理等。

GB51136-2015······1

1 總則······13

2 術語······14

3 基本規定······16

4 工藝······17

4.1 一般規定······17

4.2 基本工序······17

4.3 工藝區劃······17

4.4 設備配置······18

5 廠址選擇及總體規劃······20

5.1 廠址選擇······20

5.2 總體規劃······20

6 建筑······22

6.1 一般規定······22

6.2 防火及安全疏散······22

7 結構······25

7.1 一般規定······25

7.2 廠房結構設計······25

7.3 微振動控制標準······26

7.4 微振動控制設計及測試······27

7.5 基座平臺設計······27

8 氣體動力······29

8.1 冷、熱源······29

8.2 大宗氣體供應······30

8.3 特種氣體供應······31

8.4 壓縮空氣供應······33

8.5 工藝真空和清掃真空······34

9 供暖、通風、空氣調節與凈化······35

9.1 一般規定······35

9.2 采暖、通風與廢氣處理······35

9.3 空氣調節與凈化······38

9.4 防排煙······40

10 給水排水······41

10.1 一般規定······41

10.2 一般給水排水······41

10.3 純水······42

10.4 工藝冷卻循環水······42

10.5 廢水······43

10.6 消防給水及滅火設施······43

11 電氣······45

11.1 供配電與照明······45

11.2 防雷與接地······46

11.3 火災報警及消防聯動······46

11.4 通信及自控······48

12 防靜電······49

12.1 一般規定······49

12.2 防靜電措施······50

12.3 防靜電接地······51

13 化學品······53

13.1 一般規定······53

13.2 化學品儲存和配送······53

13.3 管材、閥門······56

13.4 化學品廢液收集團收······56

14 空間管理······58

14.1 一般規定······58

14.2 管線布置······59

14.3 共用管道支、吊架······60

附錄A 薄膜晶體管液晶顯示器生產工藝流程······61

附錄B 微振動標準VC曲線······63

本規范用詞說明······65

引用標準名錄······66

附: 條文說明······68