GB50646-2020······1

1 總則······11

2 術語······12

3 特種氣體站房······17

3.1 一般規定······17

3.2 特種氣體站房布置······18

3.3 特種氣體設備布置······19

4 特種氣體工藝系統······21

4.1 一般規定······21

4.2 特種氣體輸送系統······21

4.3 吹掃和排氣系統······24

4.4 硅烷工藝系統······24

5 生命安全系統······26

5.1 特種氣體管理系統······26

5.2 特種氣體探測系統······26

5.3 其他安全設施······28

5.4 特種氣體報警的聯動控制······29

6 特種氣體管道輸送系統······30

6.1 一般規定······30

6.2 材料選型······30

6.3 管道設計······31

6.4 管道標識······32

7 建筑結構······34

7.1 一般規定······34

7.2 建筑防火······34

7.3 建筑構造措施······37

8 電氣與防雷······38

8.1 配電與照明······38

8.2 防雷與接地······38

9 公用工程······40

9.1 給水排水······40

9.2 消防······40

9.3 采暖通風與空氣調節······41

10 特種氣體系統工程施工······44

10.1 一般規定······44

10.2 主要設備、材料進場驗收······44

10.3 氣瓶柜與氣瓶架的安裝······46

10.4 閥門箱與閥門盤的安裝······46

10.5 尾氣處理裝置及純化器的安裝······47

10.6 特種氣體管道安裝······47

10.7 特種氣體管道改擴建工程施工······51

11 特種氣體系統工程驗收······52

11.1 一般規定······52

11.2 設備驗收······52

11.3 管路與系統驗收······52

11.4 氣體探測（監控）系統驗收······53

附錄A 特種氣體管道氦檢漏方法······54

附錄B 電子工業用特種氣體的主要物化性質（單一氣體）······55

本標準用詞說明······60

引用標準名錄······61

附：條文說明······62

1 總則······66

2 術語······67

3 特種氣體站房······68

3.1 一般規定······68

3.2 特種氣體站房布置······74

3.3 特種氣體設備布置······78

4 特種氣體工藝系統······83

4.1 一般規定······83

4.2 特種氣體輸送系統······84

4.3 吹掃和排氣系統······89

4.4 硅烷工藝系統······91

5 生命安全系統······96

5.1 特種氣體管理系統······96

5.2 特種氣體探測系統······96

5.3 其他安全設施······99

5.4 特種氣體報警的聯動控制······101

6 特種氣體管道輸送系統······103

6.1 一般規定······103

6.2 材料選型······104

6.3 管道設計······105

6.4 管道標識······107

7 建筑結構······109

7.1 一般規定······109

7.2 建筑防火······110

7.3 建筑構造措施······111

8 電氣與防雷······113

8.1 配電與照明······113

8.2 防雷與接地······113

9 公用工程······114

9.1 給水排水······114

9.2 消防······114

9.3 采暖通風與空氣調節······117

10 特種氣體系統工程施工······122

10.1 一般規定······122

10.2 主要設備、材料進場驗收······123

10.3 氣瓶柜與氣瓶架的安裝······124

10.4 閥門箱與閥門盤的安裝······124

10.5 尾氣處理裝置及純化器的安裝······125

10.6 特種氣體管道安裝······125

10.7 特種氣體管道改擴建工程施工······129

11 特種氣體系統工程驗收······131

11.1 一般規定······131

11.2 設備驗收······131

11.3 管路與系統驗收······137

11.4 氣體探測（監控）系統驗收······145

附錄A 特種氣體管道氦檢漏方法······148

附錄B 電子工業用特種氣體的主要物化性質（單一氣體）······149